叶甜春，国家02专项总师，国际欧亚科学院院士

中科院微电子所所长、中科院集成电路创新研究院筹建组组长，同时兼任中科院物联网研发中心理事长、中科院大学微电子学院院长、中国半导体行业协会副理事长。国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（02专项）专职技术责任人。

陈鲸，中国工程院院士

通信与信息系统专家、中国工程院院士。西南电子电信技术研究所研究员、博士生导师。北京邮电大学等国内多所知名高校兼职教授，合肥工业大学顾问教授；成都电子科技大学极高频复杂系统重点学科实验室学术委员会主任；电子与信息学报、电子科学学刊（英文版）编委会顾问；国家成果奖励评审委员会委员。

韦亚一，国家级高端人才

博士，研究员，博士生导师，国家级高端人才，计算光刻研发中心负责人，集成电路计算光刻与设计优化实验室负责人，EUV光刻仿真联合实验室负责人。光刻领域资深专家，具备28纳米到7/5纳米节点的光源掩模联合优化、光学邻近效应修正、光刻工艺优化、多重图形拆分、设计制造协同优化等丰富的产业和研发经验。

Henry H Radamson，欧洲科学院院士，国家级高端人才

中科院微电子所先导中心光电子集成创新研发中心主任，研究员，博士生导师。主要从事纳米光子学、电子学及红外光电器件研究。担任Springer-Nature期刊编辑；在国际发表SCI论文220余篇，2本科学专著，3篇评论文章和8本书籍章节；拥有PCT（美国和欧洲专利）授权多项。