服务地方龙头”芯“企,院地合作再上新台阶

作者:GIICS 发布日期:2020-08-24 阅读量:237

2020年819日,“集成电路先进光刻工艺”系列课程在广州粤芯半导体拉开帷幕。本次系列课程由广东省大湾区集成电路与系统应用研究院计算光刻研发中心主任、国家级高端技术人才专家、中国科学院微电子研究所研究员韦亚一培训授课。

韦亚一从当前集成电路制造的光刻工艺需求出发,详细介绍和分析了当前光刻工艺的发展趋势,系统性地对光刻工艺模块的关键要素、衔接关系进行了梳理,结合粤芯当前技术节点的特征,厘清了工艺中可能遇到的问题和风险,并给出相应的技术解决方案。本次培训从粤芯的实际问题出发,层层深入、层层剖析,各位学员表示深受启发。在授课期间,学员分别提出他们在实际项目中遇到的问题和困难,韦亚一依次给予了深入精准的解答,并提出了具有针对性的处理意见,交流探讨的场面十分热烈。

本次授课是广东省大湾区集成电路与系统应用研究院与广州粤芯半导体合作项目中的“光刻工艺”系列培训课程的首发课程,接下来研究院科研团队将基于粤芯的实际需求,继续开展系列培训及联合研发。

广东省大湾区集成电路与系统应用研究院作为广东省级高水平创新研究院、新型研发机构,一直致力于引领大湾区集成电路技术创新和推动产业发展。粤芯半导体是广东省集成电路产业的龙头企业代表。继双方于201910月首次签约共建广东集成电路产业后,20206月双方又签署了技术合作协议,双方将在合作研发、成果转化等方面进行深度产研合作,共同推进粤港澳大湾区的集成电路产业发展迈向新台阶。



(文/图:粟雅娟 责任编辑:赵瑞)



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